3D-RECONSTRUCTION OF THE SUBSURFACE STRUCTURE OF THE FUNCTIONAL AND TECHNOLOGICAL COMPLEXES SOME OF THE ELEMENTS USING THE REM-STEREOMIKROTOMOGRAFII

3D-РЕКОНСТРУКЦІЯ ПРИПОВЕРХНЕВИХ СТРУКТУР ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ЕЛЕМЕНТІВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ КОМПЛЕКСІВ ІЗ ЗАСТОСУВАННЯМ МЕТОДУ РЕМ-СТЕРЕОМІКРОТОМОГРАФІЇ

Y. Melnik*, A. Shostak**, C. Syniy*
*Lutsk National Technical University, **Lesya Ukrainka Eastern European National University

Abstract

A fundamentally new method for studying near-surface topology of three-dimensional solid-state structures of objects , perform by functional elements of technology systems is proposed. The method is based on a combination of the principles of electronic microtomography and stereomeasurements and provides reconstruction of internal volume of the structure of the object according to the energy spectrum of the reflected electrons. An attempt to use quantitative microtomography on algorithms developed for stereoimages is submitted in the article. The important point is that the proposed method is not simply adding the benefits of two known methods. Their combination opens up entirely new possibilities microstructural studies − obtaining accurate quantitative information about the internal structure of the solid state object that allows to visualize hidden under the surface of the inner volume details of micro irregularities and perform a quantitative reconstruction of the topology of the object in depth. This is particularly important, such as in materials science and microelectronics

Запропоновано принципово новий метод дослідження приповерхневої топології об'ємних структур твердотілих об'єктів, здійснюваний функціональними елементами технологічних комплексів. метод базується на поєднанні принципів електронної мікротомографії і стереовимірювань і передбачає реконструкцію внутрішньооб’ємної будови об'єкта за даними енергетичних спектрів відбитих електронів. У роботі здійснена спроба застосування кількісної мікротомографії за алгоритмами, розробленими для стереозображень. Важливим моментом є те, що пропонований метод не є простим додаванням переваг двох відомих методів. Їх поєднання відкриває принципово нові можливості мікроструктурних досліджень – одержання точної кількісної інформації про внутрішню структуру твердотілого об'єкта, що дозволяє візуалізувати сховані під поверхнею внутрішньооб’ємні деталі мікронеоднорідностей, а також здійснювати кількісну реконструкцію топології об'єкта за глибиною. Це особливо важливо, наприклад, у трибоматеріалознавстві та мікроелектроніці

Keywords


мікротомографічний метод, мікроструктура, растрова електронна мікроскопія, метод лукаса-кенаде, приповерхнева топологія

Download the full article